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【中国研制出 22 纳米芯片制造技术】国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收。该光刻机由中科院光电所研制，光刻分辨力达到 22 纳米，结合双重曝光技术后，未来还可用于制造 10 纳米级别的芯片。报道称，项目在原理上突破分辨力衍射极限，建立了一条高分辨、大面积的纳米光刻装备研发新路线
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【中国研制出 22 纳米芯片制造技术】国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收。该光刻机由中科院光电所研制，光刻分辨力达到 22 纳米，结合双重曝光技术后，未来还可用于制造 10 纳米级别的芯片。报道称，项目在原理上突破分辨力衍射极限，建立了一条高分辨、大面积的纳米光刻装备研发新路线

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