英特尔在俄勒冈工厂新增 ASML 首台高数值孔径极紫外光刻设备英特尔公司最近在其位于俄勒冈州的工厂中增加了 ASML 公司的首台高数值孔径极紫外线光刻机（High NA EUV）。这台引人注目的机器，体积巨大，堪比双层巴士，重量则与蓝鲸相当。该设备被从荷兰 ASML…

发布时间: 2024-04-20 12:30:15

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英特尔在俄勒冈工厂新增 ASML 首台高数值孔径极紫外光刻设备
英特尔公司最近在其位于俄勒冈州的工厂中增加了 ASML 公司的首台高数值孔径极紫外线光刻机（High NA EUV）。这台引人注目的机器，体积巨大，堪比双层巴士，重量则与蓝鲸相当。该设备被从荷兰 ASML…
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英特尔在俄勒冈工厂新增 ASML 首台高数值孔径极紫外光刻设备

英特尔公司最近在其位于俄勒冈州的工厂中增加了 ASML 公司的首台高数值孔径极紫外线光刻机（High NA EUV）。这台引人注目的机器，体积巨大，堪比双层巴士，重量则与蓝鲸相当。该设备被从荷兰 ASML 总部运往美国，整个运输过程中使用了多架货机和约 20 辆半挂车，货物被分装在 43 个货柜中，包含超过 250 个箱子。

这台新的晶体管制造设备被视为芯片行业的一次重大革命，它是世界上首个采用高数值孔径的极紫外光刻系统，简称为 High NA EUV。这种设备是英特尔、ASML 及其供应商三十多年紧密合作的成果，可能是迄今为止人类制造的最复杂的设备之一。

当这台机器最终抵达工厂并开始组装时，所有这些年的准备工作—设计图纸、动画演示以及具体的运输和处理计划—都变成了现实。这是一个非常激动人心的时刻。High NA EXE:5000 型光刻机能够在硅晶片上精确投射电路图案，对芯片性能的提升有着不可估量的影响。这种技术的发展是摩尔定律持续实现的关键，预计将推动未来多个技术节点的发展。

此外，这个设备在技术上的一大突破是其能够实现比现有 EUV 设备还要小 1.7 倍的特征尺寸打印。它的激光系统非常强大，能够切割钢铁，而产生的激光脉冲通过特殊装置传送至机器内部，击中融化的锡滴，产生极紫外线。这些光线经过一系列精确的镜子反射后，形成适合传输晶体管和互联图案的狭缝，极大地增强了投影效果。

设计这种设备的复杂性和它实现的方式都令人赞叹。它不仅展示了超过 1000 个电气和机械连接的精密工程，还能够将等离子体的温度升至接近 220,000 摄氏度，这是一个接近太阳表面温度的惊人数字。如此高级的技术使英特尔 Foundry 在芯片制造中达到了前所未有的精度和可扩展性，为全球科技产业的进步贡献了重要力量。

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